擴散硅壓力變送器結構
壓力傳感器與二極管溫度傳感器一起封裝在測量膜盒頂部,再由兩塊密封法蘭夾住膜盒本體構成了變送器的測量部,負責把工作現場待測的壓力信號轉換為電壓信號。另有電子線路板和液晶顯示表頭及接線端子構成顯示部,負責把傳感器輸出的電壓信號通過放大、二線制信號處理變換4~20mA后,輸出標準電流信號 。
擴散硅壓力變送器結構圖(圖)
由于傳感器的輸出是非標準的信號,在實際應用中為了使傳感器具有通用性以及便于信號的傳送和記錄,就將傳感器與帶有標準信號輸入電路配套使用,使之輸出符合標準的信號。此時輸出標準信號的傳感器就稱為變送器 。
簡而言之,變送器是從傳感器逐步發(fā)展而來的。本文研究的擴散硅壓力變送器主要由 MEMS 傳感器、測量膜盒和接口與處理電路(智能電路板)三大部分組成。
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